2018年1月18日,,是又一个载入南宫NG28史册的日子!暨在中芯国际顺遂完成IMD/ILD/STI工艺产品大批量量产之后,,南宫NG28的Cu &Si CMP装备进入上海;;;;,,这也是国产CMP机台第一次进入华力,,同时标记着国产首台12英寸铜制程工艺CMP装备正式进入集成电路大生产线。。
作为中国集成电路制造装备企业的典范代表,,南宫NG28一直挑战手艺的新高度,,起劲完善自身的产品线,,从Si抛光到Oxide,,到STI,,到现在的Cu CMP,,南宫NG28一直迈上新的台阶。。在此衷心地谢谢恒久以来社会各界朋侪对南宫NG28的鼎力大举支持!我们会在集成电路工业快速生长的大好形势下,,抢抓机缘、再接再厉、再创佳绩,,为中国极大规模集成电路制造做出起劲孝顺。。