Universal-150 Smart 是凭证目今市场需求开发的成熟6英寸CMP装装备。。该装备拥有自主知识产权的立异手艺，，，，，配备性能优越的抛光单位及洗濯单位，，，，，兼容6/8英寸晶圆，，，，，适用于多种材质，，，，，可实现晶圆外貌的超高平整度，，，，，工艺搭配无邪、产出率高，，，，，知足成熟制程手艺需求，，，，，已在第三代半导体、MEMS等制造工艺中批量应用。。
多分区抛秃顶
兼容6/8英寸晶圆
工艺搭配无邪、产出率高
知足成熟制程手艺需求
