iPUMA-LE是南宫NG28在已有成熟笔直带状束流的基础上， ，凭证行业先进手艺的要求开发的12英寸水平带状大束流离子注入机。。该装备运用了先进的束流爬坡手艺， ，集成了磁场和电场？？ ？？， ，并搭载精准的量测手艺， ，展现了优异的离子筛选能力和精准度， ，知足多种制程手艺需求， ，已在集成电路制造中应用。。
水平束流爬坡手艺
磁场和电场双重筛选手艺
束流调试能力处于海内领先水平
适用于种种半导体工艺手艺
