iPUMA-HT是南宫NG28在已有成熟大束流的基础上，，，，凭证先进器件手艺的要求开发的12英寸高温离子注入机。。。。。该装备配备了高温事情模 ？？？椋，，，温度检测单位和冷却模 ？？？椋，，，知足先进制程手艺需求，，，，已在先进逻辑等集成电路制造中应用。。。。。
海内自主研发的热工艺离子注入平台
精准的工艺温度控制
优异的工艺温度匀称性
知足先进制程的手艺需求
